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超聲波強度即單位面積聲功率。超聲波清真空清洗機洗的成果好壞取決於空化作用，而空作用的產生與超聲波強度有關。在通常狀況下，單位面積聲功率超越0。3W/cm 2(輸出電功率一般大於1W)水溶液就能產生空化。在肯定範圍內，超聲波強度越大，空化作用越明顯，也就說清洗成果越好。
超聲波頻率：超聲波振動頻率對於清洗成果有很大影響，這是因為超聲波頻率對於空化作用影響很大的緣故超音波清洗機。實際證實等同功率狀況下，低頻時易於激起空化。即頻率越低，清洗機空化作用成果越好，但噪音越大。反之，頻率越高，空化作用成果越差，全自動清洗機也認為它的噪音越小。
清洗液清洗設備溫度：清洗的溫度是影響清洗速度主要因素，恰當的進步清洗液的溫度，可加強空化才能，延長清洗光陰，但超越肯定的溫度，因為蒸汽壓力相應增添反而使空化作用降落，因此必需保持肯定的溫度範圍，如水溶劑清洗液一般在45℃左右，三氯烯清洗液在75℃左右。抉擇清洗液必需斟酌抉擇的清洗液粘度要真空超音波清洗機小，表面張力要小以利於清洗液的空化。
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